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证券日报刊文指出,近日,有消息称,上海微电子正致力于研发28纳米浸没式光刻机,预计在2023年年底将国产第一台SSA/800-10W光刻机设备交付市场。此前,国家知识产权局公布了一项华为新的专利“反射镜、光刻装置及其控制方法”,在极紫外线光刻机核心技术上取得突破性进展。半导体产业是全球主要国家的战略高地。美国、荷兰、日本先后对光刻机等半导体制造设备出口进行限制,我国将于8月1日起对镓、锗相关物项实施出口管制。想要不被“卡脖子”,在关键环节实现自主可控是必经之路。业内人士普遍表示,我国企业加快核心领域自主研发,光刻机产业链上下游正不断涌现出新进展、新成果,国产化加速向前。“中国芯”正在崛起。近年来,多家A股上市公司已经进入到光刻机全球产业链各环节之中,包括光刻机光源系统厂商福晶科技,物镜系统厂商奥普光电,涂胶显影厂商芯源微、富创精密,光掩膜版厂商清溢光电、华润微,缺陷检测厂商精测电子,光刻胶厂商南大光电、容大感光,光刻气体厂商雅克科技、华特气体等。此外被誉为新一轮科技革命的战略制高点——量子科学领域,中国位列全球“第一方阵”。量子计算机对复杂数据的计算能力大大超过传统计算机的极限,这为“中国芯”换道超车提供了技术支持。
信息来源:证券日报
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